一种可调节相对高度的双支撑硅舟及热处理装置
基本信息
| 申请号 | CN202111006298.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113437001B | 公开（公告）日 | 2021-11-09 |
| 申请公布号 | CN113437001B | 申请公布日 | 2021-11-09 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/324（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 韩颖超;马潇;周波;李长苏 | 申请（专利权）人 | 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州信与义专利代理有限公司 | 代理人 | 马育妙 |
| 地址 | 310053浙江省杭州市滨江区滨康路668号C幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种可调节相对高度的双支撑硅舟，涉及半导体器件技术领域。包括顶板、底板以及固定安装在顶板与底板间的第一支撑组件；第一支撑组件包括至少两根第一支撑条，第一支撑条上间隔设置有用于放置硅片的第一支撑块；还包括第二支撑组件，第二支撑组件与顶板和/或底板滑动配合；顶升机构，包括受热形变的形变组件，形变组件受热后产生竖直向上的形变量，第二支撑块相对于第一支撑块作竖直向上的运动直至第二支撑块将硅片顶起，使硅片与第一支撑块脱离；本发明还提供一种热处理装置。本发明通过双支撑设计，有效改善了遮挡区域的热处理效果。 |
