一种螺纹卧式组装硅舟
基本信息
| 申请号 | CN202022008761.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214244673U | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN214244673U | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | C30B33/02（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 范明明;韩颖超;李长苏 | 申请（专利权）人 | 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人 | 郑汝珍 |
| 地址 | 310051浙江省杭州市滨江区滨康路668号C幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型，一种螺纹卧式组装硅舟，涉及半导体制造技术领域，包括：挡板，沟棒，沟棒包括第一连接端、承接段和第二连接端，挡板上设有沿其厚度方向贯通的导向孔，沟棒与挡板通过紧固件可拆卸连接，硅舟为可拆装的模块化结构，拆装便捷且转运方便，对空间的占用较小，且装载的硅片数量较多，解决了现有技术中硅舟稳定性较差，装载硅片数量较少，以及拆卸组装难度较大的技术问题。 |
