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一种触控传感器的制备方法

基本信息

申请号 CN201910067496.7 申请日 -
公开（公告）号 CN109799934B 公开（公告）日 2022-06-28
申请公布号 CN109799934B 申请公布日 2022-06-28
分类号 G06F3/044（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;C23C14/04（2006.01）I 分类 计算；推算；计数;
发明人 周群飞;焦超 申请（专利权）人 蓝思科技（长沙）有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 410100湖南省长沙市长沙经济技术开发区漓湘路99号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种触控传感器的制备方法，通过真空热蒸镀工艺在基板表面的可视区域设置导电膜层以及基板表面的非可视区域设置引线。使用真空热蒸镀工艺设置导电膜层以及引线时，仅仅需要先将基板放置在蒸发台内，再在真空环境中使用具有对应镂空图案的掩膜版对基板进行掩膜，最后通过加热靶材生成相应的气体，通过掩膜版在基板表面沉积预设结构的导电膜层以及引线即可。相比于现有技术中包括设置导电层、在导电层表面涂布光阻、对光阻进行显影、曝光、再刻蚀导电层的黄光工艺，可以极大的减少制作步骤，从而降低触控感应器的制作成本。