一种真空传动机构

基本信息

申请号 CN201520036999.5 申请日 -
公开(公告)号 CN204550710U 公开(公告)日 2015-08-12
申请公布号 CN204550710U 申请公布日 2015-08-12
分类号 C23C14/56(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 张学星;王兴立;王建军;张彦清;袁志尧 申请(专利权)人 承德新新机械制造有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 张海英;胡彬
地址 067001 河北省承德市双滦区双塔山元宝山大街24号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其涉及一种真空传动机构,该真空传动机构包括:主板、密封装置、电机、转向机构,转向机构包括第一转向机构与第二转向机构,电机的输出端与第一转向机构连接,第一转向机构通过连接杆同时与第二转向机构连接,第一转向机构与第二转向机构的纵向均连接有传动杆;传动杆穿过真空腔室及主板,其穿过主板的一端固接有齿轮用以带动真空镀膜车上的齿条运动,主板通过固接在真空腔室的支撑轴支撑于真空腔室内,支撑轴一端穿设与真空腔室外,主板上还连接有导向装置。本实用新型能够使真空镀膜车体在高速情况下运行平稳、无惯性。