一种不易划伤曲面玻璃镀层的镀膜装置

基本信息

申请号 CN201720887734.5 申请日 -
公开(公告)号 CN207031270U 公开(公告)日 2018-02-23
申请公布号 CN207031270U 申请公布日 2018-02-23
分类号 C03C17/00;C23C14/35 分类 玻璃;矿棉或渣棉;
发明人 王建军;张学星;张欣;李丽梅;李久来 申请(专利权)人 承德新新机械制造有限公司
代理机构 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 代理人 王现辉;周晓萍
地址 067000 河北省承德市双滦区滦河镇宫后村承德新新机械有限公司
法律状态 -

摘要

摘要 一种不易划伤曲面玻璃镀层的镀膜装置,包括机架、室体、溅射室、安装在传动机构上的工件架;还包括工作气体供给机构和电气及自动化装置;安装在溅射室内的磁控溅射靶在伺服电机的带动下自动调整溅射距离;传动机构能将工件架和装夹在工件架上的曲面玻璃,在磁导向机构的导向下进入溅射室;工件架上装卡曲面玻璃的卡具可以根据不同曲面玻璃的曲面度进行更换;电气及自动化装置中的控制系统采用PLC编程控制,触摸屏调节参数,并设有自动模式和手动模式。本实用新型实现了曲面玻璃镀膜的先弯后镀,解决了镀膜均匀性,磁控溅射靶可以使用不同的材料同时溅射组成不同的膜系,满足产品的不同性能。