一种真空磁控镀膜连续生产线
基本信息
| 申请号 | CN201720812366.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207031540U | 公开（公告）日 | 2018-02-23 |
| 申请公布号 | CN207031540U | 申请公布日 | 2018-02-23 |
| 分类号 | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/50 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张学星;张欣;王建军;李久来;李丽梅 | 申请（专利权）人 | 承德新新机械制造有限公司 |
| 代理机构 | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 李羡民;雷秋芬 |
| 地址 | 067000 河北省承德市双滦区滦河镇宫后村承德新新机械 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种真空磁控镀膜连续生产线，属于溅射法镀覆技术领域。所述真空磁控镀膜连续生产线包括抽气系统、真空充气系统、真空腔体、真空载片架、真空磁导向系统和真空传动系统；所述真空腔体通过腔体固定系统固定；所述抽气系统、真空充气系统与真空腔体连通；所述真空载片架置于真空腔体中，真空载片架由真空传动系统驱动，通过真空磁导向系统引导在真空腔体中往复运动；其特别之处在于：所述真空腔体和真空载片架倾斜布置，真空腔体和真空载片架倾斜角度α＝6～8°。本实用新型实现了30秒镀膜生产节拍，大大提高了真空磁控镀膜工作效率，降低了产品制造成本。 |
