深紫外光调制反射光谱仪及其应用
基本信息
| 申请号 | CN202210401244.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114689525A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114689525A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | G01N21/25（2006.01）I;G01N21/64（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 谭平恒;刘雪璐 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100083北京市海淀区清华东路甲35号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开提供一种深紫外光调制反射光谱仪，包括：激光泵浦模块，至少包括第一激光器；探照光模块，沿光路方向依次包括宽谱光源、入射单色仪、探照光斩波器；真空样品腔模块，沿泵浦光路方向依次包括第一激光器入射窗口、泵浦光斩波器、透镜组、待测样品，沿探照光路方向依次包括探照光入射窗口、第一平面反射镜、第一抛物面反射镜、待测样品、第二抛物面反射镜、第二平面反射镜、反射光出射窗口；信号采集模块，沿光路方向依次包括出射单色仪、探测器、锁相放大器和信号处理装置，用于采集反射光信号并进行分析处理。本公开的光调制反射光谱仪适用于深紫外波段，可广泛用于超宽禁带半导体材料的电子能带结构研究。 |
