叉指电极结构及其制造方法和具有该结构的声表面波器件
基本信息
| 申请号 | CN202010761971.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111934644B | 公开（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申请公布号 | CN111934644B | 申请公布日 | 2021-11-02 |
| 分类号 | H03H9/02;H03H9/145 | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 李林萍;盛荆浩;江舟 | 申请（专利权）人 | 见闻录（浙江）半导体有限公司 |
| 代理机构 | 厦门福贝知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈远洋 |
| 地址 | 313000 浙江省湖州市康山街道红丰路1366号3幢1219-23 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 公开了一种叉指电极结构，叉指电极结构被设置在衬底上，其中叉指电极结构中的叉指电极的末端被离子注入以形成掺杂部。还公开了一种声表面波器件，其包括以上叉指电极结构，声表面波器件为滤波器或谐振器。另外，还公开了一种用于制造叉指电极结构的方法，包括制备具有压电层的衬底；在衬底上制作叉指电极；以及对叉指电极进行离子注入以在叉指电极的末端形成掺杂部。通过在叉指电极末端进行离子注入形成掺杂部，在不变剂加权、不调整叉指电极厚度等前提下改善了电极末端的电场梯度变化，抑制寄生振荡，最终提升声表面波器件的性能。 |
