基于聚合物薄膜石英音叉的气体检测系统及方法

基本信息

申请号 CN202110318284.9 申请日 -
公开(公告)号 CN112881298B 公开(公告)日 2022-06-28
申请公布号 CN112881298B 申请公布日 2022-06-28
分类号 G01N21/17(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 刘秀玲;娄存广;李喜通;陈弘家;杨旭 申请(专利权)人 河北大学
代理机构 石家庄国域专利商标事务所有限公司 代理人 -
地址 071002河北省保定市五四东路180号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种基于聚合物薄膜石英音叉的气体检测系统及方法,所述检测系统包括赫里奥特气体池、分布式反馈激光器、涂覆有聚合物薄膜的石英音叉探测装置以及信号采集处理系统。本发明基于光热光谱技术,使用石英音叉作为传感器,通过激光束照射在音叉臂表面产生的热弹性形变引起石英音叉的机械振动,根据石英音叉的压电效应将机械振动转化为电信号进行采集并处理。本发明将高分子聚合物涂覆于石英音叉臂表面制成薄膜,以增大普通音叉表面的热膨胀系数,增强气体检测的灵敏度、信噪比(SNR)及最小检出限等参数。