一种硅单晶圆型锥籽晶专用夹持内套

基本信息

申请号 CN201120315097.7 申请日 -
公开(公告)号 CN202214451U 公开(公告)日 2012-05-09
申请公布号 CN202214451U 申请公布日 2012-05-09
分类号 C30B15/32(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 曹中谦;李彦林;荆新杰;李永辉;刘云鹏 申请(专利权)人 河北宇晶电子科技有限公司
代理机构 石家庄汇科专利商标事务所 代理人 刘闻铎
地址 065201 河北省廊坊市三河市燕郊经济技术开发区迎宾路晶龙集团工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种硅单晶圆型锥籽晶专用夹持内套,用于大直径直拉硅单晶生长过程中锥籽晶的固定。所述夹持内套由两个半管相互扣合而成,扣合处的两个半管上分别设有相互配合定位的凹槽和凸块,夹持内套的外表面的一端为圆柱形面,其另一端为圆台形面,并且圆柱形外表面的直径与圆台形外表面大端的直径相等;夹持内套的内腔的两端分别为大圆柱形面和小圆柱形面,内腔中间为分别与大圆柱形面和小圆柱形面圆滑过渡的圆台形面,并且内腔的大圆柱形面与圆柱形外表面的位置相对应。本实用新型便于拆卸和安装,增加了工作时的受力面积,有效的增强了整个系统的安全性和稳定性。