一种硅单晶圆型锥籽晶专用夹持内套
基本信息
申请号 | CN201120315097.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN202214451U | 公开(公告)日 | 2012-05-09 |
申请公布号 | CN202214451U | 申请公布日 | 2012-05-09 |
分类号 | C30B15/32(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 曹中谦;李彦林;荆新杰;李永辉;刘云鹏 | 申请(专利权)人 | 河北宇晶电子科技有限公司 |
代理机构 | 石家庄汇科专利商标事务所 | 代理人 | 刘闻铎 |
地址 | 065201 河北省廊坊市三河市燕郊经济技术开发区迎宾路晶龙集团工业园 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种硅单晶圆型锥籽晶专用夹持内套,用于大直径直拉硅单晶生长过程中锥籽晶的固定。所述夹持内套由两个半管相互扣合而成,扣合处的两个半管上分别设有相互配合定位的凹槽和凸块,夹持内套的外表面的一端为圆柱形面,其另一端为圆台形面,并且圆柱形外表面的直径与圆台形外表面大端的直径相等;夹持内套的内腔的两端分别为大圆柱形面和小圆柱形面,内腔中间为分别与大圆柱形面和小圆柱形面圆滑过渡的圆台形面,并且内腔的大圆柱形面与圆柱形外表面的位置相对应。本实用新型便于拆卸和安装,增加了工作时的受力面积,有效的增强了整个系统的安全性和稳定性。 |
