一种用于单晶硅热场的加热器

基本信息

申请号 CN201120315050.0 申请日 -
公开(公告)号 CN202226960U 公开(公告)日 2012-05-23
申请公布号 CN202226960U 申请公布日 2012-05-23
分类号 C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 李宁;赵世锋;张卫中;王汉召;金莹;李雷 申请(专利权)人 河北宇晶电子科技有限公司
代理机构 石家庄汇科专利商标事务所 代理人 刘闻铎
地址 065201 河北省廊坊市三河市燕郊经济技术开发区迎宾路晶龙集团工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型应用于电子、光伏行业,涉及一种用于单晶硅热场的加热器,包括两个支撑脚和连接配装在两个支撑脚之间的加热片,加热片为上、下连续回绕的蛇形且回绕的加热片之间留有间隙,所述的上、下回绕的加热片为上宽下窄的设置。本实用新型采用非均匀的加热器加热片,可以使加热器的高温区域向下移动,从而使加热器上部的温度梯度加大,同时使适合晶体生长的温度区域加大,结晶前沿横向的温度梯度适当平稳。