一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯
基本信息
| 申请号 | CN202110689569.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113436953A | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN113436953A | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | H01J37/244（2006.01）I;H01J37/26（2006.01）I;H01J37/28（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 史鑫尧;戴晓鹏;赫松龄;贺羽;张伟 | 申请（专利权）人 | 无锡量子感知技术有限公司 |
| 代理机构 | 苏州国诚专利代理有限公司 | 代理人 | 杜丹盛 |
| 地址 | 214100江苏省无锡市惠山区惠山城铁站区站前路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯，其可以精确测量扫描电镜入射电子束流强度，且其结构简单、操作方便。其包括：杯盖，其包括一厚度方向贯穿的入射孔；杯体，其包括有一厚度方向内凹的内凹盲孔；绝缘底托，其用于隔绝样品台和杯体；所述杯盖盖装于所述杯体的上表面，所述入射孔朝向所述内凹盲孔设置；其还包括有一绝缘导线，所述绝缘导线的内层金属芯一端连接所述杯体，所述绝缘导线的内层金属芯的另一端用于连接高精度测电流装置；所述杯盖和杯体均为导体材质，所述绝缘底托为绝缘材料。 |
