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一种高收集效率的扫描电镜电子探测器

基本信息

申请号 CN202110823237.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113421813A 公开（公告）日 2021-09-21
申请公布号 CN113421813A 申请公布日 2021-09-21
分类号 H01J37/244（2006.01）I;H01J37/26（2006.01）I;H01J37/28（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 史鑫尧;郭云飞;戴晓鹏;赫松龄;贺羽;张伟 申请（专利权）人 无锡量子感知技术有限公司
代理机构 苏州国诚专利代理有限公司 代理人 杜丹盛
地址 214100江苏省无锡市惠山区惠山城铁站区站前路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种高收集效率的扫描电镜电子探测器，其提高二次电子或者背散射电子的收集效率、能够进一步改善图像的信噪比和分辨力。其包括：栅网；法拉第杯；闪烁体；光导柱；光电倍增管；高压电源；电流放大电路板；不锈钢外壳；法拉第杯的电子信号输入端设置有外凸的筛网，法拉第杯的电子信号输出端朝向闪烁体布置，闪烁体的光子信号输出端朝向光导柱的输入端布置，导管柱的输出端连接至光电倍增管的信号输入端，光电倍增管的信号输出端连接电流放大电路板的信号输入端，光电倍增管连接有高压电源；不锈钢外壳内包覆有高压电源、光电倍增管、光导柱、闪烁体，不休钢外壳的前部输入端固装有法拉第杯。