一种基于白光干涉的背钻孔深度测量装置和方法
基本信息
| 申请号 | CN201910563589.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110260816A | 公开（公告）日 | 2019-09-20 |
| 申请公布号 | CN110260816A | 申请公布日 | 2019-09-20 |
| 分类号 | G01B11/24（2006.01）I; G01B11/22（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 姜广文; 朱志武; 曹结新 | 申请（专利权）人 | 湖南省鹰眼在线电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京鱼爪知识产权代理有限公司 | 代理人 | 廖斌 |
| 地址 | 410005 湖南省长沙市开福区新河街道晴岚路68号北辰凤凰天阶苑B1E1区1栋32025号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种基于白光干涉的背钻孔深度测量装置和方法，包括宽谱段光源，光源整形镜片组，分光器，第一成像镜片组，光强衰减装置，第二成像镜片组，参考面，镜片组，相机，位移台。宽谱段光源发出的光经过镜片组整形后，经过分光器分成两束，一束经由光强衰减装置、第一成像镜片组和参考面的反射，返回分光器，另一束通过第二成像镜片组照射到样品表面，经由样品表面反射，返回分光器；返回分光器的两束光再经过汇聚镜片组由相机接收。本发明采用白光干涉原理实现背钻孔深度测量。在传统白光干涉基础上，加入分光调节单元，增强PCB的背钻孔反射的光信号，从而达到提高测量精度的效果。 |
