一种红外滤光片及其制备方法、红外气体传感器
基本信息
| 申请号 | CN202110781672.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113238311B | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113238311B | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | G02B5/20（2006.01）I;G01N21/3504（2014.01）I;C23C14/24（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 何虎;张杰;许晴;于海洋;李蕾鸣;刘盼盼 | 申请（专利权）人 | 翼捷安全设备（昆山）有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
| 地址 | 215325江苏省苏州市昆山市周庄镇敏锐路6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种红外滤光片及其制备方法、红外气体传感器。其中，二氟甲烷气体检测用红外滤光片包括基底以及位于基底两侧的主膜系结构和截止膜系结构，主膜系结构包括Sub/HLH2LHLHLHL2HLHLHLH2LH2L/Air，截止膜系结构包括Sub/0.18（HL）0.26（HL）0.4（HL）0.55（HL）0.75（HL）1.45（0.5LH0.5L）/Air，其中Ge和ZnS分别作为高、低折射率材料，设计波长为9400nm。本发明实施例提供的一种红外滤光片及其制备方法、红外气体传感器，实现了中心波长为9400nm左右的通带，满足了NDIR红外探测器检测二氟甲烷气体的使用要求。 |
