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测量电流加载时金属薄膜中应力演变的装置及方法

基本信息

申请号 CN200810017429.6 申请日 -
公开（公告）号 CN101236189B 公开（公告）日 2012-01-04
申请公布号 CN101236189B 申请公布日 2012-01-04
分类号 G01N33/00(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 孙军;王章洁;刘刚;孙冰;丁向东;江峰 申请（专利权）人 山东云度材料科技有限公司
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 代理人 陈翠兰
地址 710049 陕西省西安市咸宁路28号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种测量电流加载时金属薄膜中应力演变的装置及其方法，设计试样放置装置，依靠金属薄膜与试样放置装置的线接触，实现电流加载，将金属薄膜试样放置到金属材料的放置台的燕尾型的凹槽内，依靠重力金属薄膜试样与金属放置台线接触，保证金属薄膜和金属放置台电导通，金属薄膜在施加电流的过程由于焦耳热和电致蠕变曲率发生变化，再由多数激光应力测量装置测量电流加载时金属薄膜中应力演变。对薄膜试样不施加外力，实现原位测量电流加载时金属薄膜中的应力演变，以分析金属薄膜在热/力/电多耦合场的蠕变变形行为。本发明方法具有简单、精确等优点。