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柔性基板上金属薄膜疲劳寿命测试方法

基本信息

申请号 CN200810017372.X 申请日 -
公开（公告）号 CN101226163B 公开（公告）日 2010-11-10
申请公布号 CN101226163B 申请公布日 2010-11-10
分类号 G01N27/20(2006.01)I;G01N3/32(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 孙军;张敬;刘刚;孙晓娟;汪承材;丁向东;江峰 申请（专利权）人 山东云度材料科技有限公司
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 代理人 陈翠兰
地址 276017 山东省临沂市高新技术产业开发区科技创业中心A317
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种柔性基板上金属薄膜疲劳寿命测试方法，包括对界面结合良好的金属薄膜/柔性基板体系进行整体循环应力加载下的疲劳测试，记录金属薄膜的应力-应变曲线和电阻变化-循环次数曲线，同时观察疲劳过程中不同循环次数下金属薄膜微观组织，得到金属薄膜表面损伤形貌-电阻变化-循环次数曲线。将电阻变化-循环次数曲线上电阻变化突然增大来表征金属薄膜损伤，定义疲劳寿命Nf。由应力-应变曲线得到的应变幅Δε及其所对应的疲劳寿命Nf构成了金属薄膜/柔性基板系统中金属薄膜疲劳性能失效评价。该方法测试简单，测量精确且具有先验性。