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一种氦、氢、氖气体提纯控制系统

基本信息

申请号 CN202023215550.5 申请日 -
公开（公告）号 CN214437799U 公开（公告）日 2021-10-22
申请公布号 CN214437799U 申请公布日 2021-10-22
分类号 B01D53/22（2006.01）I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 徐军军;郭会军;陈伟;杨俊鹏 申请（专利权）人 安徽中科皖能科技有限公司
代理机构 合肥国和专利代理事务所（普通合伙） 代理人 孙永刚
地址 230000安徽省合肥市庐阳区耀远路工投兴庐科技产业园2号楼901室
法律状态 -

摘要

摘要 一种氦、氢、氖气体提纯控制系统，包括可编程逻辑控制器PLC、回收压缩泵M1、再生真空泵M2、自控阀门、压力变送器、气体含量检测仪以及质量流量控制器；所述的可编程逻辑控制器PLC通过物理接线方式与回收压缩泵M1、再生真空泵M2、自控阀门、压力变送器、气体含量检测仪C1、质量流量控制器进行电气连接，用于数据的采集运算处理及逻辑动作控制；回收压缩泵M1的入口与气体回收场所连接，二者之间依次安装质量流量控制器MFC1、压力变送器P1和气体含量检测仪C1。本实用新型可以将低纯度的氦、氢、氖气等尾气提纯到99.9％及以上，具有控制精准、逻辑运算可靠、提纯效率高等特点。