应用于大尺寸氟化镁单晶的定向生长装置

基本信息

申请号 CN202023208082.9 申请日 -
公开(公告)号 CN215103675U 公开(公告)日 2021-12-10
申请公布号 CN215103675U 申请公布日 2021-12-10
分类号 C30B11/00;C30B29/12 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 陈伟;华伟;曹顿华;董永军;潘国庆 申请(专利权)人 南京光宝光电科技有限公司
代理机构 江苏圣典律师事务所 代理人 贺翔
地址 210008 江苏省南京市经济技术开发区恒达路3号高通基地第A01、A03室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于氟化镁单晶体应用技术领域,具体公开了应用于大尺寸氟化镁单晶的定向生长装置,包括炉体、石墨坩埚、侧部石墨保温罩、上部石墨保温罩、底部保温罩、发热体支撑板、水冷电极杆、水冷坩埚杆、石墨发热体、若干个通孔和若干个开槽。本实用新型的有益效果在于:其设计合理、工作状态稳定和安全,通过一体成型制得石墨发热体、若干个通孔、若干个开槽、石墨圆形带孔发热板、若干个辅助通孔和若干个横条形开槽结构,可针对不同的晶体生长需求做不同形状的设计,调节方式更加灵活,实现单个晶体炉生长不同晶体对温度梯度的不同需求,进而提高大尺寸氟化镁单晶体的产品品质,适用于大尺寸氟化镁单晶体的生产制备,实用性强。