应用于大尺寸氟化镁单晶的定向生长装置
基本信息
申请号 | CN202023208082.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215103675U | 公开(公告)日 | 2021-12-10 |
申请公布号 | CN215103675U | 申请公布日 | 2021-12-10 |
分类号 | C30B11/00;C30B29/12 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 陈伟;华伟;曹顿华;董永军;潘国庆 | 申请(专利权)人 | 南京光宝光电科技有限公司 |
代理机构 | 江苏圣典律师事务所 | 代理人 | 贺翔 |
地址 | 210008 江苏省南京市经济技术开发区恒达路3号高通基地第A01、A03室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型属于氟化镁单晶体应用技术领域,具体公开了应用于大尺寸氟化镁单晶的定向生长装置,包括炉体、石墨坩埚、侧部石墨保温罩、上部石墨保温罩、底部保温罩、发热体支撑板、水冷电极杆、水冷坩埚杆、石墨发热体、若干个通孔和若干个开槽。本实用新型的有益效果在于:其设计合理、工作状态稳定和安全,通过一体成型制得石墨发热体、若干个通孔、若干个开槽、石墨圆形带孔发热板、若干个辅助通孔和若干个横条形开槽结构,可针对不同的晶体生长需求做不同形状的设计,调节方式更加灵活,实现单个晶体炉生长不同晶体对温度梯度的不同需求,进而提高大尺寸氟化镁单晶体的产品品质,适用于大尺寸氟化镁单晶体的生产制备,实用性强。 |
