一种晶振控制镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN202023015603.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215103495U | 公开（公告）日 | 2021-12-10 |
| 申请公布号 | CN215103495U | 申请公布日 | 2021-12-10 |
| 分类号 | C23C14/30（2006.01）I;C23C14/26（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 许鸿;董永军;陈伟;曹顿华 | 申请（专利权）人 | 南京光宝光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州华博知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨敏 |
| 地址 | 210046江苏省南京市经济技术开发区恒达路3号高通基地第A01、A03室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种晶振控制镀膜机，其包括：晶控仪、真空室、探头晶控传感器、至少两组蒸发源、工件盘、修正板、计算机以及高压电源；其中，工件盘设置在真空室的顶部中心位置处并包括第一驱动电机，探头晶控传感器设置在所述工件盘的同等高度位置处，修正板设置在所述工件盘的正下方，至少两组蒸发源设于所述真空室底部，至少两组蒸发源用于蒸镀不同的蒸发材料；并且其中，工件盘与第一驱动电机电气连接，晶控仪与探头晶控传感器、高压电源和计算机分别信号连接，高压电源用于为至少两组蒸发源提供工作电压，计算机与第一驱动电机信号连接。本实用新型的晶振控制镀膜机实现了多层镀膜的自动精确控制。 |
