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一种局域钝化接触结构电池及其制备方法

基本信息

申请号	CN202110749345.7	申请日	-
公开（公告）号	CN113471304A	公开（公告）日	2021-10-01
申请公布号	CN113471304A	申请公布日	2021-10-01
分类号	H01L31/0216（2014.01）I;H01L31/0224（2006.01）I;H01L31/06（2012.01）I;H01L31/18（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	潘皓	申请（专利权）人	同翎新能源（扬州）有限公司
代理机构	北京知联天下知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张迎新;史光伟
地址	225603江苏省扬州市高邮经济开发区洞庭湖路科技创业中心
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种局域钝化接触结构电池及其制备方法,其技术方案要点是,包括N型硅基体，所述N型硅基体的正面设置有正电极，所述N型硅基体正面覆盖有AlOx钝化层或SiNx减反层，所述正电极穿过AlOx钝化层或SiNx减反层与发射极接触，所述N型硅基体背面设置有负电极，在其所述N型硅基体的背面制备隧穿氧化层，其中，在N型硅基体与负电极接触区域不被刻蚀形成重掺杂的n++poly层，在非电极接触区域n++poly层被刻蚀减薄成轻掺杂的n+poly层。本发明通过在非金属区域轻掺杂，减少n+poly层寄生吸收效应，提高短路电流；在金属区域重掺杂，降低金属接触复合及接触电阻，提升开路电压及填充因子，进一步提高电池效率。