一种坩埚喷涂装置
基本信息
申请号 | CN201621286528.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN206392321U | 公开(公告)日 | 2017-08-11 |
申请公布号 | CN206392321U | 申请公布日 | 2017-08-11 |
分类号 | B05B15/12;B05B13/04;B05B13/02;B05D3/02 | 分类 | 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕; |
发明人 | 凌晓国;岳旭;余传江 | 申请(专利权)人 | 浙江傲尔科技有限公司 |
代理机构 | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 浙江钱江明士达光电科技有限公司 |
地址 | 314000 浙江省嘉兴市海盐经济开发区01省道新海段1000号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种坩埚喷涂装置,包括有支架,支架上安装有工作箱、第一气缸、第二气缸,工作箱的上部设有开口,第一气缸位于开口上方,第一气缸与工作箱之间设有喷涂杆,喷涂杆的一端固定连接第一气缸的活塞,另一端安装有旋转喷头并通过开口伸入到工作箱内,喷涂杆内具有中空的通道,通道一端连通旋转喷头,另一端通过设置在喷涂杆上的连接管连接高压喷涂料,工作箱的底部设有可活动的托台,托台下端面连接第二气缸,托台上端面设有供叉车的货叉水平插入的插槽,工作箱的侧壁安装有加热器。本实用新型的坩埚喷涂装置具有操作简单,保证了坩埚的安全性以及操作人员的安全性,能够高效率的完成坩埚的氮化硅喷涂作业,节省了人力物力。 |
