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一种晶片磨面装置

基本信息

申请号 CN201621283222.X 申请日 -
公开（公告）号 CN206393378U 公开（公告）日 2017-08-11
申请公布号 CN206393378U 申请公布日 2017-08-11
分类号 B24B7/22;B24B47/12;B24B41/06 分类 磨削；抛光;
发明人 凌晓国;岳旭;余传江 申请（专利权）人 浙江傲尔科技有限公司
代理机构 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） 代理人 浙江钱江明士达光电科技有限公司
地址 314000 浙江省嘉兴市海盐经济开发区01省道新海段1000号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶片磨面装置，包括有基座，基座上方设有若干载样盘，载样盘下端设有垂直朝上安装的气缸，载样盘与气缸之间设有支撑杆，支撑杆固定连接气缸的活塞，气缸一侧设有垂直安装的直线位移传感器，直线位移传感器的滑块与支撑杆通过连接片固定连接，载样盘与支撑杆之间设有滚珠轴承，滚珠轴承的内圆固定连接支撑杆，滚珠轴承的外圆固定连接载样盘下端，载样盘与滚珠轴承之间还设有磁力转动装置，磁力转动装置包括有定子和转子，转子通过滚珠轴承外圆带动载样盘转动。本实用新型的晶片磨面装置能够同时研磨不同磨面要求的硅片，磨面过程中控制精确，适应不同研磨材料及研磨工艺的要求。