多晶硅铸锭炉的氩气预热装置
基本信息
| 申请号 | CN201621283665.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206438201U | 公开（公告）日 | 2017-08-25 |
| 申请公布号 | CN206438201U | 申请公布日 | 2017-08-25 |
| 分类号 | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 凌晓国;岳旭;余传江 | 申请（专利权）人 | 浙江傲尔科技有限公司 |
| 代理机构 | 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 浙江钱江明士达光电科技有限公司 |
| 地址 | 314000 浙江省嘉兴市海盐经济开发区01省道新海段1000号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉，包括有炉体和氩气管，炉体内设置有保温罩，保温罩内设置有坩埚、顶部加热器和石墨盖板，石墨盖板位于坩埚上方，顶部加热器设置在石墨盖板上方，所述氩气管与氩气源相连，所述保温罩和顶部加热器之间设有水平安装的蛇管式预热器，蛇管式预热器具有进气口和出气口，进气口连通氩气管，出气口依次穿过顶部加热器的中部、石墨盖板的中部后伸入坩埚内。本实用新型的多晶硅铸锭炉能够有效的减少氩气对铸锭炉内热场的影响，提高了长晶质量，延长了热场的使用寿命，节省了氩气外部加热的电耗成本，是现有多晶硅铸锭炉的技术有效改进。 |
