一种高效型铸锭炉
基本信息
| 申请号 | CN201621287247.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206359658U | 公开（公告）日 | 2017-07-28 |
| 申请公布号 | CN206359658U | 申请公布日 | 2017-07-28 |
| 分类号 | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 凌晓国;岳旭;余传江 | 申请（专利权）人 | 浙江傲尔科技有限公司 |
| 代理机构 | 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 浙江钱江明士达光电科技有限公司 |
| 地址 | 314000 浙江省嘉兴市海盐经济开发区01省道新海段1000号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及多晶硅生产设备领域，具体涉及一种高效型铸锭炉，包括具有夹层空间的炉体，炉体上设置有抽气孔，炉体内设置有保温罩，保温罩内部设有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩，所述石墨护罩顶部设置有顶部加热器，所述顶部加热器中部呈向下凸出状，所述石墨护罩侧边设有侧部加热器，所述石墨护罩底部设置有热交换平台，所述热交换平台呈凸型并且热交换平台凸起的一面与石墨护罩底部相背；所述保温罩以及热交换平台通过设置在炉体底部的石墨支柱支撑。本实用新型使得对硅液中心加热和散热效果好，坩埚内部的硅液水平方向上温差变小，加热更加均匀，提高了铸锭效率。 |
