一种多晶硅铸锭炉用坩埚组件
基本信息
| 申请号 | CN201621282843.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206396354U | 公开（公告）日 | 2017-08-11 |
| 申请公布号 | CN206396354U | 申请公布日 | 2017-08-11 |
| 分类号 | C30B28/06;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 凌晓国;岳旭;余传江 | 申请（专利权）人 | 浙江傲尔科技有限公司 |
| 代理机构 | 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 浙江钱江明士达光电科技有限公司 |
| 地址 | 314000 浙江省嘉兴市海盐经济开发区01省道新海段1000号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉用坩埚组件，包括有位于坩埚四周与坩埚贴紧的侧板以及位于坩埚底部用于支撑坩埚的底板，所述侧板的内表面上均设有导流槽，导流槽包括有位于侧板下部的主槽，以及位于侧板中部的若干均匀分布的支流槽，支流槽连通主槽，所述侧板下端面设有若干均匀分布的凸柱，所述底板上设有与凸柱相匹配的通孔，所述每个侧板上的其中一个凸柱为中空的导管，所述主槽连通导管。本实用新型通过对坩埚侧板进行改进，提高了热场稳定性，增加多晶硅长晶成品率，同时，能够有效及时的发现坩埚溢流情况，减少损失。 |
