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一种硅片抛光机用的抛光盘

基本信息

申请号 CN201621286511.5 申请日 -
公开（公告）号 CN206393425U 公开（公告）日 2017-08-11
申请公布号 CN206393425U 申请公布日 2017-08-11
分类号 B24B29/02;B24B41/06;B24B55/02 分类 磨削；抛光;
发明人 凌晓国;岳旭;余传江 申请（专利权）人 浙江傲尔科技有限公司
代理机构 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） 代理人 浙江钱江明士达光电科技有限公司
地址 314000 浙江省嘉兴市海盐经济开发区01省道新海段1000号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种硅片抛光机用的抛光盘，抛光盘正面用于固定硅片，其特征在于，所述抛光盘的背面设有导热硅胶片，抛光盘的背面与导热硅胶片之间设有导热石墨片，导热石墨片通过导热硅胶贴附在抛光盘的背面，导热硅胶片通过螺丝与抛光盘的背面固定连接。导热硅胶片上设有若干均匀分布的凸起。本实用新型的硅片抛光机用的抛光盘具有抛光盘温差小，避免了局部温差过大对硅片造成的影响；同时，本实用新型采用导热石墨片和导热硅胶片直接散热，避免了传统水冷方式中的散热不均匀、抛光盘清理维护困难等缺点。