一种能够提高多晶硅铸造质量的铸锭炉
基本信息
| 申请号 | CN201621286945.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206359657U | 公开（公告）日 | 2017-07-28 |
| 申请公布号 | CN206359657U | 申请公布日 | 2017-07-28 |
| 分类号 | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 凌晓国;岳旭;余传江 | 申请（专利权）人 | 浙江傲尔科技有限公司 |
| 代理机构 | 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 浙江钱江明士达光电科技有限公司 |
| 地址 | 314000 浙江省嘉兴市海盐经济开发区01省道新海段1000号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种能够提高多晶硅铸造质量的铸锭炉，包括具有夹层空间的炉体，炉体上设置有抽气孔，炉体内设置有保温罩，保温罩内部设有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩，所述石墨护罩由石墨盖板、石墨侧板和石墨底板构成，所述的石墨底板的底面开有凹槽，所述凹槽形状为环状正方形；所述石墨底板下方设置有热交换平台，所述石墨底板开有凹槽的一侧与热交换平台相接触，所述凹槽内设置有隔热条；所述石墨盖板上方设置有顶部加热器，所述顶部加热器中部呈向下凸出状，所述石墨侧板周围设有侧部加热器。本实用新型加热时坩埚内部水平方向温度较为均匀，加热效果好，多晶硅铸造品质高。 |
