压电微机械超声换能器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110685781.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113245175A | 公开（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申请公布号 | CN113245175A | 申请公布日 | 2021-08-13 |
| 分类号 | B06B1/06（2006.01）I | 分类 | 一般机械振动的发生或传递; |
| 发明人 | 王凯厚;杨剑宏;王鑫琴;王蔚 | 申请（专利权）人 | 苏州晶方半导体科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州威世朋知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 沈晓敏 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区汀兰巷29号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种压电微机械超声换能器及其制作方法，所述压电微机械超声换能器包括：衬底；设置于衬底上支撑层，其形成有至少一个开口朝向衬底的空腔，空腔侧壁、空腔顶壁与衬底围设形成真空密闭腔；设置于支撑层上的压电薄膜，其至少位于空腔上方，并直接受空腔顶壁支承，保留部分支撑层不蚀刻形成的空腔顶壁直接起到支承压电薄膜的作用，省略常规PMUT结构中的沉积形成的薄膜支撑层等结构，能够显著降低PMUT的制造成本。 |
