一种晶圆打点设备
基本信息
| 申请号 | CN202121736482.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215527679U | 公开（公告）日 | 2022-01-14 |
| 申请公布号 | CN215527679U | 申请公布日 | 2022-01-14 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 唐先冲;刘伟;刘乐;魏寅;曾岩;梁天丰;陈乃盛;李安平 | 申请（专利权）人 | 深圳米飞泰克科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 田甜 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型适用于晶圆测试设备技术领域，提供了一种晶圆打点设备，包括具有内腔的机台主体、设置在内腔中的打点装置，以及设置在机台主体顶部的上盖；上盖上设有探针卡支撑台，探针卡支撑台的中部具有与内腔连通的操作口；晶圆打点设备还包括防尘盖，防尘盖用于遮盖操作口或允许操作口裸露；防尘盖包括盖板主体和安装于盖板主体上的把手，把手的握持部凸出于盖板主体的上表面。本实用新型提供的一种晶圆打点设备，可实现操作口的遮盖，避免空气内的浮尘通过该操作口进入机台主体内，进而避免了位于机台主体内的晶圆被污染。 |
