监控系统、监控方法、监控终端及存储介质
基本信息
| 申请号 | CN202010703276.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111983412B | 公开（公告）日 | 2021-12-31 |
| 申请公布号 | CN111983412B | 申请公布日 | 2021-12-31 |
| 分类号 | G01R31/26（2014.01）I;G01R1/067（2006.01）I;G08B13/196（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王英广;游彩锋;赖永达;郑汉钦;韦敏荣;龚荣;刘活;李安平 | 申请（专利权）人 | 深圳米飞泰克科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈卓宏 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种监控系统、监控方法、监控终端及存储介质，涉及监控技术领域，能够较好地进行晶圆测试数据的监控，适用范围广。该监控系统包括：测试终端、监控终端和探针台，其中，所述监控终端分别与所述测试终端和所述探针台连接；所述测试终端，用于输出目标测试数据及测试指令；所述目标测试数据为所述测试终端控制所述探针台的测试晶圆时得到的测试数据；所述测试指令用于指示所述探针台对晶圆进行电测试；所述监控终端，用于当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至所述探针台。 |
