确定探针卡异常的方法、装置、终端设备及存储介质
基本信息
| 申请号 | CN202110526012.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113393422B | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN113393422B | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | G06T7/00（2017.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 张露露;欧纲;付友良;李旺军;邓海军;王健;孔晓琳;李安平 | 申请（专利权）人 | 深圳米飞泰克科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙欢 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请实施例适用于晶圆测试技术领域，提供一种确定探针卡异常的方法、装置、终端设备及计算机可读存储介质。该方法包括：获取单片晶圆的晶圆图；将至少两片晶圆的所述晶圆图进行叠加，生成叠加晶圆图，所述至少两片晶圆属于同一批次；若所述叠加晶圆图具备预设图像特征，则确定所述探针卡存在异常。本申请实施例通过将探针卡测试多个晶圆产生的多张晶圆图叠加，生成叠加晶圆图；叠加晶圆图可以体现这些晶圆在测试中出现的相同问题，因此可以根据叠加晶圆图的图像特征确定属于探针卡的异常，这样不需要对探针卡重做差异评估也能及时发现探针卡的异常，也避免了因晶圆测试良率正常导致探针卡存在的问题被忽略。 |
