一种探针卡固定治具及检测台

基本信息

申请号 CN202121012838.4 申请日 -
公开(公告)号 CN215909811U 公开(公告)日 2022-02-25
申请公布号 CN215909811U 申请公布日 2022-02-25
分类号 G01B11/02(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 刘乐;刘伟;魏寅;曾岩;梁天丰;程乃盛;赵海洋;李安平 申请(专利权)人 深圳米飞泰克科技股份有限公司
代理机构 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人 李红艳
地址 518000广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供了一种探针卡固定治具及检测台,探针卡固定治具包括:底座;两个支撑座,两个所述支撑座设于所述底座上;定位基板,所述定位基板固定在所述支撑座顶端,且所述定位基板底部具有朝向所述底座的水平表面;驱动器,所述驱动器可移动设置于所述支撑座上,且所述驱动器顶端用于放置探针卡;所述驱动器用于驱动所述探针卡向所述水平表面方向移动。本申请解决了现有的探针卡固定治具将探针卡固定之后测量的探针长度有误差,会使探针卡的校准精度下降的问题。