三氟化硼液化装置
基本信息
| 申请号 | CN202022751127.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213811331U | 公开（公告）日 | 2021-07-27 |
| 申请公布号 | CN213811331U | 申请公布日 | 2021-07-27 |
| 分类号 | F25J1/02（2006.01）;F25J5/00（2006.01）;C01B35/06（2006.01） | 分类 | 制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化; |
| 发明人 | 赵趫;王天源;李庆东 | 申请（专利权）人 | 大连科利德半导体材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 大连优路智权专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 姚萍 |
| 地址 | 116000 辽宁省大连市保税区仓储加工区IE-33 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了三氟化硼液化装置，包括基座，所述基座的顶部从左到右依次安装有过滤室、冷却室、储存罐和控制箱，所述过滤室的内壁下方均匀安装有滤网，所述过滤室的一侧内壁上方安装有压力传感器，所述过滤室的顶部安装有第一进气管，所述过滤室的一侧外壁下方安装有第三排气管，所述第三排气管的另一端通过管类三通接头分别连接有取样管和第二连接管，所述第二连接管的另一端安装在冷却室的一侧外壁上方，所述冷却室的一侧外壁下方安装有第三进气管。本实用新型能够有效的过滤掉三氟化硼气体中含有的杂质，并能实时检测设备内的压强，防止气体泄漏，并能排出设备内本身含有的气体，加强了安全性。 |
