一种回旋离子束加工装置
基本信息
| 申请号 | CN202021105156.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212725220U | 公开（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申请公布号 | CN212725220U | 申请公布日 | 2021-03-16 |
| 分类号 | H01J37/30(2006.01)I;H01J37/305(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 任明俊 | 申请（专利权）人 | 霖鼎光学（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海浙晟知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 杨小双 |
| 地址 | 201109上海市闵行区元江路525号19幢第3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种回旋离子束加工装置，属于离子加工设备技术领域。它包括工作台、离子源、离子束引出装置、离子束速度选择器、离子束聚焦组件、末端离子束束流检测器、三维移动平台。通过均匀磁场使得离子束做回旋运动，三维移动平台控制离子束逐渐接近工件表面，对工件材料表面进行加工，由于离子束做回旋运动，加工完成后完全射出磁场，不会继续对工件表面造成损伤，因此，去除量一致性较好，工件表面更加平整；末端离子束束流检测器能够判断离子束与工件表面的接触情况以及当前接触点的材料去除是否已经完成。 |
