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一种基于立体偏折束的超精密加工原位测量装置和方法

基本信息

申请号 CN202110573056.6 申请日 -
公开（公告）号 CN113375590A 公开（公告）日 2021-09-10
申请公布号 CN113375590A 申请公布日 2021-09-10
分类号 G01B11/24（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 任明俊;刘嘉宇;张哲;张鑫泉 申请（专利权）人 霖鼎光学（上海）有限公司
代理机构 上海泰能知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 钱文斌;宋缨
地址 201109上海市闵行区元江路525号19幢第3层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种基于立体偏折束的超精密加工原位测量装置和方法，装置包括立体偏折束系统和计算机，所述立体偏折束系统包括一个投影屏幕和两台相机，所述投影屏幕用于显示编码图案，所述编码图案经过固定于机床主轴上的待测加工件表面反射后被所述两台相机接收；所述计算机与所述两台相机相连，用于采集所述两台相机接收到的图像信息，并对所述图像信息进行处理得到所述立体偏折束系统的参数，并基于所述立体偏折束系统的参数计算所述待测加工表面的法向量，并通过计算所述法向量的积分获取所述待测加工表面的形貌。本发明避免了重复装夹误差对超精密加工的影响。