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一种基于变距式飞刀切削的微结构阵列加工装置及方法

基本信息

申请号 CN202110779016.7 申请日 -
公开（公告）号 CN113601257A 公开（公告）日 2021-11-05
申请公布号 CN113601257A 申请公布日 2021-11-05
分类号 B23Q15/00（2006.01）I;B23Q1/25（2006.01）I;B23Q15/22（2006.01）I 分类 机床；不包含在其他类目中的金属加工;
发明人 张鑫泉;王震东;任明俊;张哲;朱利民 申请（专利权）人 霖鼎光学（上海）有限公司
代理机构 上海浙晟知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 杨秀伟
地址 201109上海市闵行区元江路525号19幢第3层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种基于变距式飞刀切削的微结构阵列加工装置及方法，属于超精密车削技术领域。加工装置包括基座、机床X轴、机床Y轴、机床Z轴、机床B轴、机床C轴、真空吸盘、变距式飞刀x轴以及工件夹具。在微结构加工过程中，选用高刚度高频处理的直线电机、音圈电机及压电定位平台对刀具的旋转半径进行精密控制，可以一定程度上优化刀具偏心旋转导致的离心力情况，使飞切加工在不依靠慢刀或者快刀伺服的情况下具有了加工一般微结构的能力，相比于普通的车削加工又有回转轴线可变的优点，因此也具有了加工微结构阵列的能。