一种晶体生长过程的加热电源控制方法
基本信息
| 申请号 | CN201510392351.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104965538B | 公开（公告）日 | 2018-04-13 |
| 申请公布号 | CN104965538B | 申请公布日 | 2018-04-13 |
| 分类号 | G05D23/19 | 分类 | 控制；调节; |
| 发明人 | 王军;卜俊鹏 | 申请（专利权）人 | 中科晶电信息材料（北京）股份有限公司 |
| 代理机构 | 四川力久律师事务所 | 代理人 | 四川英杰电气股份有限公司;卜俊鹏;中科晶电信息材料（北京）股份有限公司 |
| 地址 | 618000 四川省德阳市金沙江西路686号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种晶体生长过程的加热电源控制方法。在所述晶体的熔料阶段和/或退火阶段，加热电源采用周期脉冲控制；所述周期脉冲控制是指，将所述加热电源的输出功率幅值及脉冲周期固定，通过调节每个脉冲周期内的脉冲占空比控制所述加热电源的每个脉冲周期内的输出功率。本发明通过控制加热电源在退火阶段采用周期脉冲控制方式降低能耗，达到能效果。本发明适用于晶体生长领域电源，特别适用于蓝宝石晶体生长加热电源的控制。 |
