一种稀土复合刚玉微粉抛光液

基本信息

申请号 CN201210451511.6 申请日 -
公开(公告)号 CN103113831A 公开(公告)日 2013-05-22
申请公布号 CN103113831A 申请公布日 2013-05-22
分类号 C09G1/02(2006.01)I 分类 染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂;其他类目不包含的组合物;其他类目不包含的材料的应用;
发明人 詹学良 申请(专利权)人 湖北天马研磨材料有限公司
代理机构 黄石市三益专利商标事务所 代理人 饶建华
地址 438800 湖北省黄冈市团风县城南工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及工业生产加工中使用的磨具,是一种稀土复合刚玉微粉抛光液,其特征是:其重量百分比组份为:稀土复合刚玉微粉15-40,聚乙二醇脂肪酸酯分散剂1-12,脂肪醇聚氧化烯醚1-15,乙醇10-20,四甲基氢氧化铵1-5,辅助剂1-10,着色剂1-5,余量为高纯去离子水;本发明抛光液可减少传统抛光对工件表面增加的不必要损害,避免金属离子污染,使用更安全,加工质量高、速度快,效果明显,抛光液特别适合用于加工集成电路芯片、硅片。