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一种晶体炉随炉退火装置

基本信息

申请号 CN201520258941.5 申请日 -
公开（公告）号 CN204727985U 公开（公告）日 2015-10-28
申请公布号 CN204727985U 申请公布日 2015-10-28
分类号 C30B15/14(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 巨二方 申请（专利权）人 上海赢奔光电科技有限公司
代理机构 上海精晟知识产权代理有限公司 代理人 冯子玲
地址 201505 上海市松江区叶榭镇车亭公路1600号3幢
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶体炉随炉退火装置，包括温度显示器、外保温筒、内保温筒和晶体生长炉，所述晶体生长炉的上方设有内保温筒，所述内保温筒的外侧嵌套密封设有外保温筒，所述外保温筒与内保温筒的内部设有导热油，所述外保温筒与内保温筒的内部交错均匀设置若干隔流板，所述隔流板的下侧于外保温筒的内壁上设有环状加热丝，所述加热丝的下方于外保温筒与内保温筒的底部中间位置左右两侧均设有搅拌电机，所述内保温筒的上侧壁上设有二号热电偶，所述外保温筒与内保温筒的内部设有一号热电偶，所述一号热电偶和二号热电偶均与温度显示器电连接。本实用新型晶体提拉时处于同一个温度场中，且无需升降温操作，作业效率大幅度提高。