焰熔单晶炉

基本信息

申请号 CN201220122186.4 申请日 -
公开(公告)号 CN202499929U 公开(公告)日 2012-10-24
申请公布号 CN202499929U 申请公布日 2012-10-24
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 潘群辉;黄锐 申请(专利权)人 上海赢奔光电科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 200127 上海市浦东新区东方路899号1009室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种晶体炉,具体的说是一种焰熔单晶炉,包括燃烧室,以及位于燃烧室底部的炉体,炉体内形成炉膛,还包括一个位于炉体下方的提升机构,提升机构的提升杆贯穿炉体底部位于炉膛内,其特征在于:所述炉体包括上炉体,以及与上炉体相连的下炉体,上炉体相对下炉体的一侧形成中视孔,上炉体的内侧呈阶梯状的锥形结构,下炉体的内侧配合上炉体呈阶梯状的倒锥形结构。本实用新型同现有技术相比,降低了晶体生长时的轴向温度梯度及晶体内部应力,避免晶体开裂。