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一种晶体炉随炉退火装置

基本信息

申请号 CN201210010318.9 申请日 -
公开（公告）号 CN102758257A 公开（公告）日 2012-10-31
申请公布号 CN102758257A 申请公布日 2012-10-31
分类号 C30B33/02(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 高超;华伟;陈伟 申请（专利权）人 上海赢奔光电科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 200127 上海市浦东新区东方路899号1009室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种晶体生长炉，具体说就是一种晶体炉随炉退火装置，包括晶体生长炉，其特征在于：还包括一个位于晶体生长炉顶部的随炉退火装置，所述的随炉退火装置包括一个感应线圈，以及置于感应线圈内的圆柱形后感应保温筒，还包括一个位于圆柱形后感应保温筒上的梯形后感应保温筒，以及一个测温热电偶，测温热电偶的端部插入圆柱形后感应保温筒内。本发明同现有技术相比，晶体生长完后、从晶体炉中提拉出来后处于一个和晶体本身温度基本相同的温度场中，保证了晶体的完整性，提高了晶体的成品率，减少了后期专门的退火设备和退火时间，提高了效率。