浆臂以及抛光机
基本信息
| 申请号 | CN201621106610.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206383017U | 公开（公告）日 | 2017-08-08 |
| 申请公布号 | CN206383017U | 申请公布日 | 2017-08-08 |
| 分类号 | B24B37/34(2012.01)I;B24B37/00(2012.01)I;B24B57/02(2006.01)I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 王浩;王同庆;李昆;路新春 | 申请（专利权）人 | 天府清源控股有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 天津华海清科机电科技有限公司;清华大学 |
| 地址 | 300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种浆臂以及抛光机，抛光机的浆臂包括：浆臂本体；第一管路，所述第一管路设置在所述浆臂本体上且设置有第一出浆口，所述第一出浆口在所述浆臂本体上可轴向移动；第二管路，所述第二管路设置在所述浆臂本体上且设置有第二出浆口，所述第二出浆口邻近所述浆臂本体的自由端设置。通过设置第一管路和第一出浆口，可以分散浆液落点，可以对晶圆任意圆环区域微调去除速率，从而可以提高晶圆的膜厚均匀性，而且可以调节晶圆的抛光形貌。 |
