一种基于双闭环的扫描光栅微镜机械摆角的控制方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种基于双闭环的扫描光栅微镜机械摆角的控制方法

基本信息

申请号	CN202111434331.2	申请日	-
公开（公告）号	CN114184547A	公开（公告）日	2022-03-15
申请公布号	CN114184547A	申请公布日	2022-03-15
分类号	G01N21/01（2006.01）I;G01N21/31（2006.01）I;G02B26/08（2006.01）I;G02B26/10（2006.01）I;G05D3/12（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	郝文元;吴珂;黄明洋;周颖;温晓康	申请（专利权）人	重庆川仪自动化股份有限公司
代理机构	重庆志合专利事务所（普通合伙）	代理人	徐传智
地址	400700重庆市北碚区人民村1号
法律状态	-

摘要

一种基于双闭环的扫描光栅微镜机械摆角的控制方法，包括以下步骤：S1，在扫描光栅微镜控制系统中设定扫描光栅微镜的目标机械摆角值θset；S2，通过扫描光栅微镜控制系统采集扫描光栅微镜的电压驱动信号VO和机械摆角的电压反馈信号Vθ；S3，计算相关系数，计算S2采集的电压驱动信号VO与电压反馈信号Vθ的相关系数；S4，根据S3计算的相关系数，将电压驱动信号的频率调整至扫描光栅微镜谐振频率的误差范围内；S5，根据机械摆角的电压反馈信号Vθ计算扫描光栅微镜的实际机械摆角值θ；S6，根据扫描光栅微镜的实际机械摆角值θ与目标机械摆角值θset之间的偏差及偏差变化率，通过模糊PID控制器调整电压驱动信号的幅值。