一种高纯气体用全自动供气系统
基本信息
申请号 | CN202122367927.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216952630U | 公开(公告)日 | 2022-07-12 |
申请公布号 | CN216952630U | 申请公布日 | 2022-07-12 |
分类号 | F17D1/02(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;F17D5/02(2006.01)I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
发明人 | 温建春;王红都;蔡红军;周建伟;高文胜 | 申请(专利权)人 | 无锡市圣马气体有限公司 |
代理机构 | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 214145江苏省无锡市新吴区鸿运路以东、经十三路以南 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及高纯气体供气的技术领域,特别是涉及一种高纯气体用全自动供气系统,包括两组换气机构,两组换气机构设置有两根输气管,所述输气管与所述换气机构连通,所述换气机构上连通设置有导气管;所述导气管上依次设置有单向阀、气压计和减压阀(6;该系统可实现高纯气体的连续输送工作,保证输气系统的连续正常运行,方便后续用气设备连续工作,提高工作效率,提高实用性。 |
