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石墨行星盘

基本信息

申请号 CN201621276820.4 申请日 -
公开（公告）号 CN206210766U 公开（公告）日 2017-05-31
申请公布号 CN206210766U 申请公布日 2017-05-31
分类号 H01L21/683(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 肖啸;赵智德 申请（专利权）人 苏州科展光电技术有限公司
代理机构 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 苏州长光华芯光电技术有限公司
地址 215163 江苏省苏州市虎丘区昆仑山路189号2号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种石墨行星盘，其包括载物平台；所述载物平台的表面设置有温度补偿区域，靠近所述载物平台的边缘设置有凹槽结构，所述温度补偿区域与所述载物平台的表面具有高度差，所述温度补偿区域的高度低于所述载物平台的表面的高度，所述温度补偿区域与载物平台上生长的衬底的高温区域一一对应。本实用新型的石墨行星盘能够优化了外延片波长均匀性，提高了外延片的利用率。具体地，本实用新型的石墨行星盘在反应室气流相对稳定的情况下，通过设置温度补偿区域，对衬底表面不同区域进行温度补偿，以达到生长材料波长的一致性。