一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构
基本信息
| 申请号 | CN202020191500.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211848122U | 公开（公告）日 | 2020-11-03 |
| 申请公布号 | CN211848122U | 申请公布日 | 2020-11-03 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23F4/00(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李秀艳;刘洋 | 申请（专利权）人 | 大连威钛克纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 116600辽宁省大连市经济技术开发区东北七街13号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构，包括行走架体，所述行走架体的底部设有固定块，所述固定块的一侧活动设有第一深沟球轴承，所述行走架体的中心处固定设有方管，所述行走架体的底部固定设有吊座，所述行走架体的顶部两侧均固定设有固定轴。本实用新型的第二深沟球轴承通过固定轴以及螺母固定在行走架体上，在垂直方向由于重力作用，机构悬挂固定于方管上，侧方向上两侧通过第二深沟球轴承将机构限定在方管上滑动，固定块与方管留有一定量的间隙，将整个机构限定在方管上其作用是限定整个机构的运动方向，以满足在高真空高温情况下电镀或者刻蚀的工艺要求。 |
