一种新型PVD镀膜设备

基本信息

申请号 CN202120325220.7 申请日 -
公开(公告)号 CN214300324U 公开(公告)日 2021-09-28
申请公布号 CN214300324U 申请公布日 2021-09-28
分类号 C23C14/24(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 龚健;韩登科 申请(专利权)人 大连威钛克纳米科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 116113辽宁省大连市经济技术开发区东北七街13号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种新型PVD镀膜设备,包括装置本体,所述装置本体内部底端设有固定板,所述固定板顶端设有储料槽,所述装置本体顶端设有转动板,所述转动板底端两侧均设有弧形板,所述弧形板底端设有调节杆,所述调节杆一端设有夹持板,所述固定板底端两侧均设有转动轴,所述转动轴顶端外侧设有散热风扇。本实用新型通过夹持板和转动板的设置,液压缸工作可以调节两个夹持板之间的距离,使得夹持板可以对不同尺寸的物体进行夹持和固定,同时第一电机工作可以带动转动板进行转动,进而可以带动待镀膜物体进行转动,进而使得物体的镀膜更加的均匀,第二电机工作可以带动两个散热风扇发生转动,进而可以对加热板进行散热。