一种蓝宝石衬底制备工艺
基本信息
| 申请号 | CN201710418780.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107268081A | 公开（公告）日 | 2017-10-20 |
| 申请公布号 | CN107268081A | 申请公布日 | 2017-10-20 |
| 分类号 | C30B29/20(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C30B15/14(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李顺利 | 申请（专利权）人 | 界首市七曜新能源有限公司 |
| 代理机构 | 安徽信拓律师事务所 | 代理人 | 张加宽 |
| 地址 | 236500 安徽省阜阳市界首市工业园人民路北侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种蓝宝石衬底制备工艺，包括加料，熔化，缩颈生长，放肩生长，等径生长，尾部生长步骤。本发明熔化时通过两次升温、降温最后再升至熔化温度以上，减少蓝宝石衬底受热时内部热应变，进而避免裂片，同时提高高温条件下的热导率(外延炉中生长外延层时，最高温度可达到1300℃)，使蓝宝石衬底自身受热更为均匀；本发明制得的蓝宝石衬底内部缺陷少，结晶质量高，适合制作大尺寸外延片，能够有效的避免裂片的发生。 |
