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一种改善直拉法生长单晶硅品质的加热器

基本信息

申请号 CN201520267486.5 申请日 -
公开（公告）号 CN204608210U 公开（公告）日 2015-09-02
申请公布号 CN204608210U 申请公布日 2015-09-02
分类号 C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 汤灏 申请（专利权）人 西安隆基新能源有限公司
代理机构 杭州天勤知识产权代理有限公司 代理人 汤灏;乐叶光伏能源有限公司
地址 310013 浙江省杭州市西湖区求是村72幢402室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种改善直拉法生长单晶硅质量的加热器，包括筒状的发热本体和固定在发热本体上的电极脚，所述发热本体上开设有沿周向交替布置的上开槽和下开槽，所述上开槽和下开槽将发热本体分成多根依次串联的加热条，其特征在于，所述加热条位于所述发热本体上部产生的热量大于位于下部产生的热量，本实用新型通过使加热器的上部发热量大于下部的发热量，从而有效减小熔体沿深度方向上的温度梯度，减小热对流，降低单晶硅中的微缺陷和有害杂质，制备得到低缺陷、超低氧、高少子寿命的单晶硅，成本较低且易于实现。